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AE-100M苏州万濠白光干涉仪 AE-100M的详细资料

苏州万濠白光干涉仪 AE-100M

苏州万濠白光干涉仪 AE-100M产品用途:
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点和微尺寸检测。应用领域包含:玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。

产品特点:
● 纳米深度3D检测
● 高速、无接触量
● 表面形状、粗糙度分析
● 非透明、透明材质皆适用
● 非电子束、非雷射的安全量测
● 低维护成本

专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo):
● 提供多功能又具友好界面的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式
● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Roughness)与起伏度
● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析
● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出

高速精密的干涉解析软件(ImgScan):
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高速的分析算法则,让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台X、Y、Z位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得zui佳的干涉条纹对比
● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
● 具有自动补点功能
● 可自行设定扫描方向

技术规格参数:
 

型号AE-100M
移动台(mm)平台尺寸100*100 ,行程13*13
物镜放大倍率10X20X50X
观察与量测范围(mm)0.43*0.320.21*0.160.088*0.066
光学分辨力(μm)0.920.690.5
收光角度(Degrees)172333
工作距离7.44.73.4
传感器分辨率640*480像素
机台重量(kg)/载重kg20kg/小于1kg
Z轴移动范围45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器分辨力1μm
倾斜调整平台双轴/手动调整
高度测量
测量范围100(μm)(400μm ,选配)
量测分辨力0.1nm
重复精度≤ 0.1% (量测高度:>10μm)
≤10nm(量测高度1μm 10μm)
≤ 5nm(量测高度:<1μm )
量测控制自动
扫描速度(μm/s)12(zui高)
光源
光源类型仪器用卤素(冷)光源
平均使用寿命1000小时100W 500小时(150W)
光强度调整自动/手动
数据处理与显示用计算机
中央处理运算屏幕双核心以上CPU
影像与数据显示屏幕17 " 双晶屏幕
操作系统Windows XP(2)
电源与环境要求AC100 --240 V 50-60Hz
环境振动VC-C等级以上
测量分析软件
量测软件ImgScanImgScan测量软件:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配)
分析软件PosTopoISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D和3D
观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换
报表输出,程序教导测量等。

 

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